Базовый курс по аддитивным технологиям (HARZ Labs)
Процессы жидкостной химической обработки кремниевых пластин в технологии производства ИС с субмикронными проектными нормами на пластинах диаметром 200 мм
АО «НИИМЭ» - ведущий российский научно-исследовательский центр по проведению научно-технологических исследований в области микро- и наноэлектроники, разработке и производству полупроводниковых изделий
Для кого
Модуль может быть использован в составе программ бакалавриата и магистратуры по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» и «Электроника и наноэлектроника» как дисциплина по выбору студента или факультатив, программ дополнительного образования повышения квалификации в области технологии производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также как самостоятельный курс кратковременного повышения квалификации
Продолжительность
96 академических часов:
72 часа – лекции, лабораторные и практические занятия
24 часа – изучение дополнительных материалов, выполнение заданий, консультации с преподавателями
Программа направлена на формирование компетенций по жидкостной химической обработки кремниевых пластин в процессе производства изделий наноэлектроники в режиме применения новейших материалов и высокотехнологичного оборудования.
Модули
Физико-химические основы процессов жидкостной химической обработки (ЖХО) кремниевых пластин, требования к жидким химическим реактивам
Процессы жидкостной химической обработки кремниевых пластин в технологии производства ИС с субмикронными проектными нормами на пластинах диаметром 200 мм